Tietoja Micronovasta

Yleiskatsaus

Micronovan tiloissa on mahdollista käsitellä ja integroida joustavalla tavalla mikro- ja nanoelektroniikkaan, mikromekaaniikkaan, fotoniikkaan ja fluidistiikkaan perustuvia laitteita. Substraattimateriaaleihin kuuluvat pii, ryhmän III–V puolijohteet, lasi ja kvartsi. Piikiekot ovat pääosin 150 millimetrin kokoisia, mutta joissakin prosesseissa myös 200 ja 100 millimetrin kokoiset piikiekot ovat mahdollisia. Joissakin yhteyksissä voidaan käyttää tätäkin pienempiä näytteitä. Tiloissa on saatavilla kaikki tärkeimmät tarvittavat teknologiat, kuten optinen litografia ja nanolitografia, CMOS ja BiCMOS, kuiva- ja märkäetsaus, käsittely kohdistetun ionisuihkun avulla, mikropakkaus, piikiekkojen liitäntä, ohutkalvojen prosessointi ja epitaksiaalinen kasvatus.

M1-puhdastila

M1-pilottilaitos on tarkoitettu tutkimusta ja valmistusta varten. Puhdastilan toiminnasta huolehtii VTT, joka pyrkii tarjoamaan teollisuudelle valmispalveluja sopimustutkimushankkeina tai valmistuspalveluja VTT Memsfab Oy -tytäryhtiön kautta.

Lisätietoja M1-puhdastilassa olevista laitteista on saatavilla LIMS-laitetietokannasta (linkki).

M1-puhdastilassa olevien laitteiden tunnukset (Tool Id) alkavat seuraavilla kirjain- ja numeroyhdistelmillä: 1A–1E ja 1G–1J.

M2-puhdastila

Nanovalmistukseen tarkoitettu M2-puhdastila on Aalto-yliopiston ja VTT:n yhteinen tutkimustila, johon on vapaa pääsy. Prosessi- ja mittauslaitteet ovat muiden yliopistojen, tutkimuslaitosten ja yritysten käytettävissä erillisellä sopimuksella.

Puhtaustaso vaihtelee luokasta ISO 7 (F13, analyysilaboratorio) luokkaan ISO 4 (F8, litografia).

Lisätietoja M2-puhdastilassa olevista laitteista on saatavilla LIMS-laitetietokannasta (linkki).

M2-puhdastilassa olevien laitteiden tunnukset alkavat seuraavilla kirjain- ja numeroyhdistelmillä: 1F–2F.

QEHS

Laatu

VTT-nanovalmistuskeskukselle on myönnetty ISO 9001:2008 -sertifikaatti materiaalien ja laitteiden valmistusta ja pienimuotoista tuotantoa varten mikro-, nano- ja optoelektronisiin sovelluksiin sekä piikiekkojen käsittelyä koskevia alihankintapalveluja ja laitoksen ylläpitoa varten. Laatuasiakirjoissa kuvattuja menettelyjä sovelletaan myös VTT Memsfabin ja muiden puhdastiloja käyttävien tahojen toteuttamaan työhön.

Työskentelemällä ohjeiden mukaisesti pyrimme jatkuvasti parantamaan asiakkaille tarjoamiamme palveluja, vähentämään erien käsittelyaikaa, parantamaan tuottoa ja minimoimaan prosessilaitteiden seisokkiaikaa.

Prosessia koskeva rekisteröintitietokantamme on laatujärjestelmän perusta. Kun laitteiden kaikki käyttökerrat ja huollot kirjataan, voidaan varmistaa prosessin vaiheiden jäljitettävyys, erien seuranta ja tilastollisten tietojen saatavuus. Standardireseptien seurannan avulla voidaan tarkastaa välttämättömien laitteiden vakaus.

Asiakkaiden reklamaatiot ja sisäisesti havaitut ongelmat käsitellään 8D-menetelmän avulla. Toteuttamalla korjaavia ja ennalta ehkäiseviä toimia pyrimme ehkäisemään vaatimustenvastaisuuksien ilmenemistä.

Ennalta ehkäisevien toimien ja koulutuksen avulla voimme luoda turvallisen työympäristön ja estää onnettomuuksien syntymistä.

ISO 14000

Terveys ja turvallisuus

Työympäristön turvallisuus on Micronova-nanovalmistuskeskuksen tärkeysjärjestyksessä korkealla. Henkilöstön turvallisuus, hälytysjärjestelmät ja laitteiden riskinarviointi on pääasiassa turvallisuusryhmän vastuulla.

Pelastusryhmä on saanut ensiapukoulutuksen sekä koulutuksen poikkeustilanteita, kuten tulipaloja, kaasuvuotoja, kemikaalivuotoja ja muita kemikaaleihin liittyviä onnettomuuksia varten.

Paloturvallisuus perustuu näytteitä ottavaan palonhavaitsemisjärjestelmään puhdastiloissa ja syöttökammiossa sekä automaattiseen vesisumusammutusjärjestelmään. Märkäpenkit ja vetokaapit on suojatut hiilidioksidisammutusjärjestelmällä, joka aktivoituu liekinilmaisimien perusteella.

Myrkyllisten kaasujen valvontajärjestelmissä käytetään sähkökemiallisia antureita, ja ne antavat hälytyksen rakennuksen evakuointia varten, kun ne havaitsevat hyvin pieniä määriä myrkyllisiä kaasuja. Anturit asennetaan kaasukaappeihin, venttiilisarjarasioihin ja muihin paikkoihin, joissa vuodot on havaittava. Hälytyksen myötä myös kaasusylinteri sulkeutuu. Kaikki kaapit, joissa käytetään myrkyllisiä, räjähtäviä tai syövyttäviä kaasuja, liitetään katkottomalla virtalähteellä varustettuun imupoistojärjestelmään.